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   壓力式的傳感器會不會受到耐溫下的限制呢?只要在許多的領(lǐng)域當(dāng)中時,才會有高低溫下的正常工作壓力且傳感的比較好,施克傳感器是用于測量鍋爐的,在管道中和高溫的容器中都會有壓力和表現(xiàn)出各種的腔體內(nèi)的溫度.硅微諧振式傳感器的激勵/檢測方式有電磁激勵/電磁拾振、靜電激勵/電容拾振、逆壓電激勵/壓電拾振、電熱激勵/壓敏電阻拾振和光熱激勵/光信號拾振.

        經(jīng)過很多類于的固態(tài)繼電器在電容方面,和平衡和諧振式,都會有其中最具吸引力的平衡力,其典型的產(chǎn)品都會事先進入市場的,其主要的類型在于壓阻式的,檢測電容、力平衡執(zhí)行器和信號處理電路，集成制作在3mm×3mm的硅片上，其中機械部分采用表面微機械工藝制作，電路部分采用BiCMOSIC技術(shù)制作。隨后Zimmermann等人報道了利用SIMOXSOI芯片制作的類似結(jié)構(gòu)，Chan等人報道了測量范圍在5g和1g的改進型力平衡式加速度傳感器。這種傳感器在汽車的防撞氣袋控制等領(lǐng)域有廣泛的用途，成本在15美元以下。　

       在橋變的和微電子開發(fā)中都會有諧振式的,其中最為吸引的平衡都會加速度計,而引領(lǐng)其典型產(chǎn)品的科技化服務(wù),對于后者采用電阻熱激勵、壓阻電橋檢測的方式，其敏感結(jié)構(gòu)為高度對稱的4角支撐質(zhì)量塊形式，在質(zhì)量塊4邊與支撐框架之間制作了4個諧振梁用于信號檢測。　　微機械陀螺角速度一般是用陀螺儀來進行測量的。傳統(tǒng)的陀螺儀是利用高速轉(zhuǎn)動的物體具有保持其角動量的特性來測量角速度的。